【要約】
こちらの記事は『東京エレクトロンの「Epsira」とは何か？2030年の半導体技術に向けてDXを推進』の要約です。
1. 半導体市場の急成長と課題
- 半導体市場は2030年に約1兆ドル（約150兆円）規模に成長すると予測。
- AI、IoT、自動運転、AR/VRの普及が成長をけん引。
- 一方で、消費電力増大や冷却に伴うエネルギー問題が深刻化。
2. 「デジタル＆グリーン」という基本戦略
- 東京エレクトロンはデジタル化（DX）× 脱炭素（グリーン）を両輪とする経営・技術戦略を推進。
- 半導体技術進化の軸は高速化・大容量化・高信頼性・低消費電力。
3. 2030年以降に求められる半導体技術
- CFET（次世代トランジスタ）やバックサイドパワーデリバリーが主流に。
- ロジックとDRAMの統合、3D DRAM化が進展。
- 制御精度は1nm以下（原子レベル）が要求され、人の勘や経験だけでは限界。
4. AI活用が不可欠な半導体製造
- プロセスの複雑化で、パラメータ数とR&D試行回数が急増。
- デバイスメーカーからはR&D短縮・量産立ち上げの高速化・DX対応が強く求められている。
5. 全社DXプロダクト「Epsira（イプシラ）」とは
Epsiraは、AIとロボットを活用し、
- 装置生産性
- フィールド生産性
の両面で価値を生み出す東京エレクトロンのDX基盤。
主な取り組み：
- プロセスインフォマティクス：AIで最適な製造条件を導出
- マテリアルズインフォマティクス：新材料探索を高速化
- 量産時の異常検知・ばらつき抑制
- 磁気浮上型搬送アームによる高生産性・低メンテナンス
- 生成AIによるフィールドサポートで人材不足に対応
- 将来的にはデジタルツイン（リアルとデジタルの同期）を実現
6. セキュリティと環境への対応
- SEMI E187やEUサイバーレジリエンス法（EU CRA）への対応。
- 将来的にはPUF（物理複製困難関数）によるハードウェアセキュリティも検討。
- 2040年ネットゼロを目標に、電力・薬液・水資源削減を推進。
- 製造装置のリサイクルまで見据えた取り組みとして「E-COMPASS」を展開。
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